公开/公告号US8889476B2
专利类型
公开/公告日2014-11-18
原文格式PDF
申请/专利权人 HEIKO THIEM;JUERGEN STEIGER;ALEXEY MERKULOV;DUY VU PHAM;YILMAZ AKSU;STEFAN SCHUTTE;MATTHIAS DRIESS;
申请/专利号US200913123072
发明设计人 MATTHIAS DRIESS;DUY VU PHAM;ALEXEY MERKULOV;STEFAN SCHUTTE;YILMAZ AKSU;JUERGEN STEIGER;HEIKO THIEM;
申请日2009-11-04
分类号H01L21/36;C23C18/12;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:18:55