公开/公告号WO2015044748A1
专利类型
公开/公告日2015-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 LPE S.P.A.;
申请/专利号WO2014IB01909
发明设计人 COREA FRANCESCO;CRIPPA DANILO;GOBBO LAURA;MAUCERI MARCO;OGLIARI VINCENZO;PRETI FRANCO;PUGLISI MARCO;VECCHIO CARMELO;
申请日2014-09-24
分类号C23C16/458;C30B25/12;H01L21/687;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 15:07:30