机译:通过围绕在垫板上的氟化材料的形成和垫的暴露以及氟化物对小孔的暴露,在支持的集成电路芯片上的自组装芯片的支撑上至少生产一个垫组件的方法臭氧
公开/公告号EP2828888A1
专利类型
公开/公告日2015-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT À LÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIESALTERNATIVES;STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS;
申请/专利号EP20130715356
申请日2013-03-20
分类号H01L21/98;H01L21/48;H01L23/13;H01L23/14;H01L21/58;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:03:59