公开/公告号EP2915785A1
专利类型
公开/公告日2015-09-09
原文格式PDF
申请/专利权人 BLZ BAYERISCHES LASERZENTRUM GEMEINNÜTZIGE FORSCHUNGSGES. MBH;FRIEDRICH-ALEXANDER-UNIVERSITÄT ERLANGEN-NÜRNBERG;
申请/专利号EP20150154515
申请日2015-02-10
分类号C03C27;C03C27/02;C04B37/04;H01L21/20;C03B23/20;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:02:04