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CLEANING SOLUTION FOR PELLICLE FRAME AND METHOD FOR CLEANING PELLICLE FRAME USING SAME

机译：蜂窝框架的清洁解决方案以及使用该清洁解决方案的蜂窝框架的清洁方法

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The present invention provides a method for cleaning a pellicle frame. The method for cleaning a pellicle frame comprises: a step of using an alkali solution to clean the pellicle frame; a step of using a cleaning solution containing an oxidizer to clean the pellicle frame cleaned with the alkali solution; a step of rinsing the pellicle frame; and a step of drying the pellicle frame.;COPYRIGHT KIPO 2015

机译：本发明提供一种清洁防护膜框架的方法。防尘薄膜组件框架的清洁方法包括以下步骤：使用碱溶液清洁防尘薄膜组件框架。使用含有氧化剂的清洗液清洗用碱溶液清洗过的防护膜框架的步骤。冲洗防护膜框架的步骤;并干燥防护膜框架的步骤。; COPYRIGHT KIPO 2015

著录项

公开/公告号KR20150099675A

专利类型
公开/公告日2015-09-01

原文格式PDF
申请/专利权人 INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY ERICA CAMPUS;
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申请/专利号KR20140040543
发明设计人 PARK JIN GOOKR;KIM HYANG RANKR;KIM HYUN TAEKR;KIM MIN SUKR;
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申请日2014-04-04
分类号H01L21/302;G03F1/62;H01L21/027;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 14:59:18

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