公开/公告号DE102013223569A1
专利类型
公开/公告日2015-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;HUMBOLDT-UNIVERSITÄT ZU BERLIN;
申请/专利号DE201310223569
申请日2013-11-19
分类号B05D5/12;B82B1/00;H01L21/283;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 14:55:27