公开/公告号US2016313658A1
专利类型
公开/公告日2016-10-27
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201615198902
发明设计人 TAL MARCIANO;BARAK BRINGOLTZ;EVGENI GUREVICH;IDO ADAM;ZEEV LINDENFELD;ZENG ZHAO;YOEL FELER;DANIEL KANDEL;NADAV CARMEL;AMNON MANASSEN;NURIEL AMIR;ODED KAMINSKY;TAL YAZIV;OFER ZAHARAN;MOSHE COOPER;ROEE SULIMARSKI;TOM LEVIANT;NOGA SELLA;BORIS EFRATY;LILACH SALTOUN;AMIR HANDELMAN;ELTSAFON ASHWAL;OHAD BACHAR;
申请日2016-06-30
分类号G03F9;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:38:54