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机译:氮化硅作为基质和涂层材料快速固化硅的用途
公开/公告号US2016141442A1
专利类型
公开/公告日2016-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 CHRISTOPH SACHS;
申请/专利号US201414900884
发明设计人 CHRISTOPH SACHS;
申请日2014-07-10
分类号H01L31/18;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:37:38
机译: 氮化硅作为基质和涂层材料快速固化硅的用途
机译: 氮化硅衬底,氮化硅衬底的制造方法,使用该氮化硅衬底的氮化硅布线板以及半导体模块
机译: 硅氮化物基板,硅氮化物基板的制造方法,使用硅氮化物基板的硅氮化物接线板和半导体模块