公开/公告号US9418843B2
专利类型
公开/公告日2016-08-16
原文格式PDF
申请/专利号US201314760890
发明设计人 DONGMEI LI;XIN CHEN;SHENGFA LIANG;JIEBIN NIU;PEIWEN ZHANG;YU LIU;XIAOJING LI;SHUANG ZHAN;HAO ZHANG;QING LUO;CHANGQING XIE;MING LIU;
申请日2013-01-17
分类号H01L21;H01L21/02;H01L21/465;G01N33;B82Y10;B82Y40;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:32:05