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Nanopositioning substrate preparation apparatus and preparation method using dip pen nanolithography with a single tip or multiple tips using atomic force microscope (AFM)

机译:使用原子力显微镜(AFM)使用具有单个尖端或多个尖端的浸笔纳米光刻的纳米定位基板制备设备和制备方法

摘要

Provided are method and apparatus to nanoposition ink, the apparatus including: a substrate; a pattern index; an atomic force microscope (AMF) tip configured to form a pattern on the pattern index; a first ink reservoir including a first ink; a second ink reservoir including a second ink; a first cleaning portion configured to remove the first ink from the AMF tip; a second washing portion configured to remove the second ink from the AMF tip; a position determining portion configured to interact with the AMF tip; an electrode connection portion configured to apply a voltage to the position determining portion, in order to determine a position of the AMF tip when the AMF tip interacts with the position determining portion. The AMF tip is configured to configured to interact with the position determining portion, prior to forming the pattern using the first and second inks.
机译:提供了用于纳米定位墨水的方法和设备,该设备包括:基板;模式索引;原子力显微镜(AMF)尖端,被配置为在图案索引上形成图案;第一墨水容器,包括第一墨水;第二墨水容器,包括第二墨水;第一清洁部分,其被配置为从AMF尖端去除第一墨水;第二清洗部分被配置为从AMF尖端去除第二墨水;位置确定部分,被配置为与AMF尖端相互作用;电极连接部分,其被配置为向位置确定部分施加电压,以便在AMF尖端与位置确定部分相互作用时确定AMF尖端的位置。 AMF尖端构造成构造成在使用第一墨水和第二墨水形成图案之前与位置确定部分相互作用。

著录项

  • 公开/公告号US9403180B2

    专利类型

  • 公开/公告日2016-08-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TAI-HWAN HA;JEE-EUN PARK;

    申请/专利号US201214125808

  • 发明设计人 TAI-HWAN HA;JEE-EUN PARK;

    申请日2012-05-21

  • 分类号B05B15/02;B05C11/10;B05B7/06;B05D1/36;B05C11;B81C99;B05D5;G03F7;B82Y10;G01Q80;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 14:30:17

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