公开/公告号US9329433B2
专利类型
公开/公告日2016-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 TETSU NEGISHI;AKIHIDE SHIBATA;KENJI KOMIYA;FUMIYOSHI YOSHIOKA;HIROSHI IWATA;AKIRA TAKAHASHI;
申请/专利号US201113634030
申请日2011-02-22
分类号H01J9/24;G02F1/1335;H01L25/075;H01L23;H01L33/06;H01L33/18;H01L33/20;H01L33/38;H01L33/62;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:29:29