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METAL OXIDE THIN FILM TRANSISTOR AND PREPARATION METHOD THEREFOR, DISPLAY SUBSTRATE AND DISPLAY DEVICE

机译:金属氧化物薄膜晶体管及其制备,显示基质和显示装置的制备方法

摘要

Provided is a metal oxide thin film transistor, wherein an oxygen vacancy absorbing and removing layer (6) containing an oxygen vacancy absorbing and removing material is arranged between an active layer (3) and a source electrode (4) and/or between an active layer (3) and a drain electrode (5); and the standard Gibbs free energy of formation of the unit volume of an oxide in the oxygen vacancy absorbing and removing material is larger than that of the metal oxide in the active layer (3). Also provided are a display substrate comprising the metal oxide thin film transistor and a display device comprising the display substrate.
机译:提供了一种金属氧化物薄膜晶体管,其中在活性层(3)和源电极(4)之间和/或在活性层之间设置有包含氧空位吸收去除材料的氧空位吸收去除层(6)。层(3)和漏电极(5);氧空位吸收除去材料中的单位体积氧化物形成的标准吉布斯自由能比活性层(3)中的金属氧化物大。还提供了包括金属氧化物薄膜晶体管的显示基板和包括该显示基板的显示装置。

著录项

  • 公开/公告号WO2016165224A1

    专利类型

  • 公开/公告日2016-10-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 BOE TECHNOLOGY GROUP CO. LTD.;

    申请/专利号WO2015CN84343

  • 发明设计人 WANG MEILI;

    申请日2015-07-17

  • 分类号H01L29/786;H01L27/12;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 14:16:13

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