公开/公告号RU2582077C2
专利类型
公开/公告日2016-04-20
原文格式PDF
申请/专利号RU20140136157
发明设计人 ULANOV IGOR MAKSIMOVICH (RU);LITVINTSEV ARTEM JUREVICH (RU);ISUPOV MIKHAIL VITALEVICH (RU);MISHCHENKO PAVEL ALEKSANDROVICH (RU);
申请日2014-09-04
分类号H01J37/32;H05H1/46;C23C14;H01L21/302;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 14:10:47