公开/公告号EP2484802B1
专利类型
公开/公告日2017-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 LAIR LIQUIDE SOCIÉTÉ ANONYME POUR LETUDE ET LEXPLOITATION DES PROCÉDÉS GEORGES CLAUDE;TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN;
申请/专利号EP20110305114
申请日2011-02-07
分类号C23C16/40;C23C16/455;H01L21/314;H01L21/02;H01L31/0216;H01L31/18;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 14:06:26