公开/公告号JP2017140695A
专利类型
公开/公告日2017-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 LAPMASTER WOLTERS GMBH;
申请/专利号JP20170015455
发明设计人 HANS-PETER BOLLER;
申请日2017-01-31
分类号B24B41/06;B24B7/04;B24B7/17;B24B49/08;B24B49/14;B24B49/04;B24B37/08;B24B37/10;B24B37/12;H01L21/304;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:01:03