科研证明
文献服务
退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:用于光学MEMS应用的光机械光路延迟增加装置
公开/公告号JP2012524295A5
专利类型
公开/公告日2017-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号JP2012505979
发明设计人
申请日0000-00-00
分类号G02B26/00;G02B5/122;G02B5/08;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:00:45
机译: 用于光学MEMS应用的光机械光路延迟增加装置
机译: 用于光学MEMS应用的光机械光路延迟倍增器
机译: 记忆装置,提供光程延迟增加单元的制造方法以及使用该装置的光学装置