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Periodic grating, the method of manufacturing the periodic grating, the measuring device

机译:周期光栅,周期光栅的制造方法,测量装置

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a valid periodic lattice in terms of simplicity in the manufacturing of the periodic lattice.SOLUTION: A periodic lattice 1 contains: first materials; second materials and third materials whose transmittance or reflectance are different from each other. The periodic lattice 1 includes: a first layer 3 constituted of the first materials; and a second layer 4 laminated on the first layer 3, and constituted of second materials. A first lattice part 4a packed with third materials and a second lattice part 4b forming a space with the surface of the first layer 3 as a bottom face are formed in the second layer 4, and the second lattice part 4b is configured such that any portion other than the surface of the second layer 4 is opened to the outside of the periodic lattice 1.
机译:解决的问题:为了简化制造周期性晶格,提供有效的周期性晶格。解决方案:周期性晶格1包含:第一材料;透射率或反射率彼此不同的第二材料和第三材料。周期性晶格1包括:由第一材料构成的第一层3;以及第二层3。第二层4层叠在第一层3上,并且由第二材料构成。在第二层4中形成有填充有第三材料的第一格子部4a和以第一层3的表面为底面形成空间的第二格子部4b,第二格子部4b的任意部分构成。第二层4的表面以外的部分向周期性晶格1的外部开口。

著录项

  • 公开/公告号JP6087646B2

    专利类型

  • 公开/公告日2017-03-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 キヤノン株式会社;

    申请/专利号JP20130019949

  • 发明设计人 長岡 健;

    申请日2013-02-04

  • 分类号G01D5/347;G02B5/18;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 13:56:33

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