公开/公告号JP6209628B2
专利类型
公开/公告日2017-10-04
原文格式PDF
申请/专利权人 キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション;
申请/专利号JP20160014125
发明设计人 アレクサンダー ウィリアム シンプソン;ダイアン スコット;ジェイムズ ピー. ラカッセ;レスリー エム. チャーンズ;ピン フアン;ポール アンドレ レフィーバー;ウィリアム シー. アリソン;
申请日2016-01-28
分类号B24B37/26;B24B37/24;H01L21/304;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:54:52