公开/公告号US2017073836A1
专利类型
公开/公告日2017-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201615360361
发明设计人 HITOSHI NOGUCHI;
申请日2016-11-23
分类号C30B25/16;C23C16/515;C23C16/517;H01J37/32;C30B25/14;C30B25/12;C30B29/04;C23C16/27;C30B25/10;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:50:41