公开/公告号US9731226B2
专利类型
公开/公告日2017-08-15
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US201314378337
发明设计人 KOUSUKE YOSHIHARA;KATSUNORI ICHINO;TOSHINOBU FURUSHO;TAKASHI SASA;KATSUHIRO TSUCHIYA;YUICHI TERASHITA;HIROFUMI TAKEGUCHI;
申请日2013-02-22
分类号B01D19;G03F7/30;G03F7/16;H01L21/67;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:47:23