公开/公告号US9793220B2
专利类型
公开/公告日2017-10-17
原文格式PDF
申请/专利权人 HANS-JOACHIM BARTH;HORST BAUMEISTER;PETER BAUMGARTNER;PHILIPP RIESS;JESENKA VELEDAR KRUEGER;
申请/专利号US201213729145
申请日2012-12-28
分类号G01R31/3187;G01R31/26;H01L23/544;H01L27/04;H01L23/00;H01L23/64;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:47:10