机译:感光性或辐射敏感性树脂组合物的制造方法,感光性或辐射敏感性树脂组合物,感光性或辐射敏感性的膜状物,空白,感光性或辐射状的膏状坯料的制造方法,图案的形成方法,电子设备的制造方法以及电子设备
公开/公告号US2017003591A1
专利类型
公开/公告日2017-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJIFILM CORPORATION;
申请/专利号US201615267252
申请日2016-09-16
分类号G03F7/039;G03F7/004;G03F7/26;G03F7/20;G03F1/22;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:45:19