公开/公告号US9520335B2
专利类型
公开/公告日2016-12-13
原文格式PDF
申请/专利号US201515029441
申请日2015-04-02
分类号H01L23/34;H01L23/367;C25F3/04;C25F3/14;C25F3/20;C23F1/20;H01L23/36;H01L23/373;H05K7/20;C23C14;C23C14/04;C23C14/20;C23C14/34;C23C14/58;C25F3/22;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:44:04