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波长选择性热辐射材料及其制造方法

摘要

本发明的目的在于,提供一种形成有微腔室的波长选择性热辐射材料的制造方法,所述微腔室的划分微腔室的腔室壁上部的表面粗糙度受到抑制,或具有大于3.0的纵横比。本发明提供如下的波长选择性热辐射材料,是选择性地辐射对应于树脂构件的红外线透射波长区域的热辐射光的波长选择性热辐射材料,通过对基材实施各向异性蚀刻,就可以抑制划分微腔室的腔室壁上部的表面粗糙度,或具有纵横比大于3.0的微腔室,所述基材通过预先在一个面密合具有规定的开口的掩模,或者压靠具有与微腔室的位置对应地排列的突起的压模,而预先在一个面形成有凹部。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-28

    授权

    授权

  • 2017-08-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/373 申请日:20150402

    实质审查的生效

  • 2017-08-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/373 申请日:20150402

    实质审查的生效

  • 2017-08-01

    公开

    公开

  • 2017-08-01

    公开

    公开

  • 2017-08-01

    公开

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