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Method to enhance sensitivity to surface normal optical functions of anisotropic films using attenuated total reflection

机译:利用衰减全反射增强对各向异性膜的表面法向光学功能的敏感性的方法

摘要

Methodology for determining optical functions of thin films with enhanced sensitivity to “p” polarized electromagnetic radiation reflected from both interfaces of an absorbing film.
机译:确定对从吸收膜的两个界面反射的“ p”极化电磁辐射具有更高灵敏度的薄膜光学功能的方法。

著录项

  • 公开/公告号US9599569B2

    专利类型

  • 公开/公告日2017-03-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 J.A. WOOLLAM CO. INC.;

    申请/专利号US201614999365

  • 发明设计人 JEREMY A. VAN DERSLICE;THOMAS E. TIWALD;

    申请日2016-04-28

  • 分类号C23C16/52;C23C14/28;H05B6/00;G01N21/84;G02B5/30;G02B1/11;G02B5/04;G02B5/06;G01M11/00;G01N21/552;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 13:43:51

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