一种利用荧光增强法检测光学元件亚表面缺陷的方法

摘要

本发明公开了一种利用荧光增强法检测光学元件亚表面缺陷的方法，属于光学元件检测技术领域，其方法是在光学元件表面不同工序中加入一定浓度的荧光剂水溶液，使其表面处理工艺中所出现的亚表面划痕和缺陷均有荧光物质；加工好的光学元件样品在激光光致发光成像测试装置中进行同位的散射和荧光成像，通过荧光和散射图像的图像处理，可获得不同工艺阶段下光学元件的亚表面缺陷信息情况；本发明可获得光学元件较全面的亚表面缺陷图像及信息，包括但不限于缺陷的密度、大小、位置等，本发明的方法不仅可用于光学元件的亚表面缺陷检测，还可用于其它透明元件抛光工艺中引发的亚表层缺陷检测中，通用性好。