公开/公告号US9580835B2
专利类型
公开/公告日2017-02-28
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201614987446
发明设计人 JOSEPH M. RANISH;PAUL BRILLHART;JOSE ANTONIO MARIN;SATHEESH KUPPURAO;BALASUBRAMANIAN RAMACHANDRAN;SWAMINATHAN T. SRINIVASAN;MEHMET TUGRUL SAMIR;
申请日2016-01-04
分类号C30B25/10;H01L21/67;H01L21/02;C30B25/08;C30B25/14;C30B25/16;G01J5/10;H01L21/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:42:46