公开/公告号US10077508B2
专利类型
公开/公告日2018-09-18
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201715415982
发明设计人 JOSEPH M. RANISH;PAUL BRILLHART;JOSE ANTONIO MARIN;SATHEESH KUPPURAO;BALASUBRAMANIAN RAMACHANDRAN;SWAMINATHAN T. SRINIVASAN;MEHMET TUGRUL SAMIR;
申请日2017-01-26
分类号C30B25/10;C30B25/08;C30B25/16;C30B25/12;C23C16/458;C23C16/48;C23C16/52;G01J5/10;G01J5;H01L21/67;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:06:09