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CONTROL OF CARBON NANOTUBE DIAMETER USING CVD OR PECVD GROWTH

机译：用CVD或PECVD生长控制碳纳米管直径

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摘要

The diameter of carbon nanotubes grown by chemical vapor deposition is controlled independent of the catalyst size by controlling the residence time of reactive gases in the reactor.

机译：通过控制反应性气体在反应器中的停留时间，可以控制化学气相沉积生长的碳纳米管的直径，而与催化剂的大小无关。

著录项

公开/公告号IN278839B

专利类型
公开/公告日2017-01-06

原文格式PDF
申请/专利权人
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申请/专利号IN2917/DELNP/2006
发明设计人 SINGH DINKAR;GRILL ALLFRED;NEUMAYER DEBORAH;
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申请日2006-05-22
分类号C23C16/00;D01F9/12;H01L29/66;D01C5/00;C23C16/50;H01L51/30;C30B28/12;C30B25/00;H01L21/335;C30B29/60;C08J3/12;C01B31/02;C30B25/10;C08F8/00;C23C16/52;H05H1/24;H01J9/02;C23C16/26;B82B1/00;B82B3/00;C40B40/18;B01J23/88;
国家 IN
入库时间 2022-08-21 13:38:06

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