公开/公告号WO2017190184A1
专利类型
公开/公告日2017-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 MONASH UNIVERSITY;
申请/专利号WO2017AU50399
发明设计人 FUHRER MICHAEL SEARS;HELLERSTEDT JOHN THERY;EDMONDS MARK THOMAS;COLLINS JAMES LEE RICHARD JESSEE;LIU CHANG;
申请日2017-05-01
分类号H01L29/68;H01L51/05;H01L21/36;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 13:29:07