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Method for preparing anti-reflection surface using plasma etching and substrate having anti-reflection surface

机译:利用等离子蚀刻制备防反射表面的方法和具有防反射表面的基板

摘要

The present invention relates to a method for manufacturing an anti-reflection surface and a substrate having the anti-reflection surface. The anti-reflection surface can secure an increase in durability, excellent light transmittance, and a reflection prevention effect, and can assign functionality like easy cleaning, fouling resistant properties, scratch resistant properties, and so on by controlling, into various structures, an anti-reflection structural layer formed through repeated control of plasma dry etching and inorganic deposition.
机译:防反射面的制造方法以及具有该防反射面的基板技术领域本发明涉及一种防反射面的制造方法以及具有该防反射面的基板。防反射表面可以确保耐久性的提高,优异的透光率和防反射效果,并且可以通过将防锈剂控制为各种结构来赋予诸如易于清洁,耐污染性,耐刮擦性等的功能。 -通过重复控制等离子体干法蚀刻和无机沉积形成的反射结构层。

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