公开/公告号JP6316441B2
专利类型
公开/公告日2018-04-25
原文格式PDF
申请/专利号JP2016546495
发明设计人 チャダ・ヴェンカタ・ゴーパル・レッディー;ヤオ・フェイロン;パドマナバン・ミュニラスナ;チョ・ジュンヨン;ウルファー・エリザベス;ディオセズ・アルバート・ディー;ミューレン・セイレム・ケイ;
申请日2014-12-08
分类号C01G41;G03F7/11;G03F7/40;H01L21/027;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:07:49