公开/公告号US10026609B2
专利类型
公开/公告日2018-07-17
原文格式PDF
申请/专利号US201514921866
发明设计人 SIDLGATA V. SREENIVASAN;ANSHUMAN CHERALA;MEGHALI CHOPRA;ROGER BONNECAZE;OVADIA ABED;BAILEY YIN;AKHILA MALLAVARAPU;SHRAWAN SINGHAL;BRIAN GAWLIK;
申请日2015-10-23
分类号H01L21/02;G03F7;H01L21/308;B81C1;B82Y40;G11B5/74;H01L29/94;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:42