公开/公告号US2018105949A1
专利类型
公开/公告日2018-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 NOVELLUS SYSTEMS INC.;
申请/专利号US201715799903
发明设计人 STEVEN T. MAYER;BRYAN L. BUCKALEW;HAIYING FU;THOMAS PONNUSWAMY;HILTON DIAZ CAMILO;ROBERT RASH;DAVID W. PORTER;
申请日2017-10-31
分类号C25D21/12;C25D17;C25D7/12;C25D5/08;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:15