公开/公告号US2018107112A1
专利类型
公开/公告日2018-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL COMPANY LTD.;
申请/专利号US201515573150
申请日2015-05-11
分类号G03F7/033;G03F7/004;G03F7/20;G06F3/044;B32B27/08;B32B27/20;B32B37/26;B32B38/10;H05K3/28;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:04