公开/公告号US10088298B2
专利类型
公开/公告日2018-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201615255255
发明设计人 SHIFANG LI;
申请日2016-09-02
分类号G01B11/24;G01B11/06;G02B1/11;G02B5/08;G02B27;G02B27/09;G02B27/14;G02B7/38;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:01