公开/公告号US10061212B2
专利类型
公开/公告日2018-08-28
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201715477602
发明设计人 YOUPING ZHANG;MAURITS VAN DER SCHAAR;RICHARD JOHANNES FRANCISCUS VAN HAREN;EVERHARDUS CORNELIS MOS;
申请日2017-04-03
分类号G03F7/20;H01L21/66;H01L23/544;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:03:18