公开/公告号US10044164B2
专利类型
公开/公告日2018-08-07
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201615239268
发明设计人 YUNG-HO ALEX CHUANG;XIAOXU LU;JUSTIN DIANHUAN LIOU;J. JOSEPH ARMSTRONG;YUJUN DENG;JOHN FIELDEN;
申请日2016-08-17
分类号H01S3/10;H01S3;H01S3/08;H01S3/083;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:02:46