公开/公告号US9922821B2
专利类型
公开/公告日2018-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.;
申请/专利号US201514671504
发明设计人 TSUYOSHI TAKEDA;
申请日2015-03-27
分类号H01L21/20;H01L21/36;H01L21/02;H01L21/285;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/455;C23C16/24;C23C16/42;H01L21/3205;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:57:34