公开/公告号WO2018048480A1
专利类型
公开/公告日2018-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 LAIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR LETUDE ET LEXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE;AIR LIQUIDE ELECTRONICS U.S. LP;WANG ZIYUN;GIRARD JEAN-MARC;
申请/专利号WO2017US26811
申请日2017-04-10
分类号C23C16/455;C23C16/18;C23C16/50;C07F7/28;H01L49/02;H01L27/108;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:45:07