公开/公告号RU2642879C1
专利类型
公开/公告日2018-01-29
原文格式PDF
申请/专利号RU20160150021
发明设计人 VALISHEVA NATALYA ALEKSANDROVNA (RU);LEVTSOVA TATYANA ALEKSANDROVNA (RU);TOROPOV ALEKSANDR IVANOVICH (RU);BAKAROV ASKHAT KLIMOVICH (RU);
申请日2016-12-19
分类号H01L21/203;H01L21/3105;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 12:35:47