公开/公告号RU2656103C2
专利类型
公开/公告日2018-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 EVONIK DEGUSSA GMBH;
申请/专利号RU20160101945
发明设计人 STEIGER JURGEN (TW);PHAM DUY VU (DE);NEUMANN ANITA (DE);MERKULOV ALEXEY (DE);HOPPE ARNE (DE);FRUHLING DENNIS (DE);
申请日2014-05-15
分类号C07F5;C23C18/12;H01L21/285;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 12:35:33