公开/公告号EP2062019B1
专利类型
公开/公告日2019-02-06
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号EP20070801502
发明设计人 PERLITZ SASCHA;WEISSENBERG STEFFEN;FÖRSTER SANDRO;SCHERÜBL THOMAS;MATEJKA ULRICH;GROSS HERBERT;
申请日2007-08-03
分类号G01J9;G02B27/46;G03F1/84;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:29:30