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MANAGEMENT METHOD FOR MANAGING PROCESSING DEVICE, MANAGEMENT DEVICE, PROGRAM AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD

机译:管理处理设备的管理方法,管理设备,程序和物品制造方法

摘要

To provide a technique advantageous for easily suppressing an abrupt change in a treatment result by a processing device due to an adjustment of the processing device.SOLUTION: A management method manages a processing device that processes components. The management method sets an offset value for controlling the processing device so as to mitigate a change in a treatment result by the processing device before and after an adjustment when the adjustment of the processing device is carried out.SELECTED DRAWING: Figure 4
机译:提供一种有利于容易地抑制由于调整处理装置而导致处理装置的处理结果突然变化的技术。解决方案:一种管理方法管理处理部件的处理装置。该管理方法设置用于控制处理设备的偏移值,以便在进行处理设备的调整时减轻调整前后处理设备对处理结果的变化。图4

著录项

  • 公开/公告号JP2019095664A

    专利类型

  • 公开/公告日2019-06-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CANON INC;

    申请/专利号JP20170226035

  • 发明设计人 TAGUCHI TETSUYA;

    申请日2017-11-24

  • 分类号G03F7/20;H01L21/027;H01L21/31;H01L21/205;H01L21/3065;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 12:25:04

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