公开/公告号JP6494875B2
专利类型
公开/公告日2019-04-03
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社DNPファインケミカル;
申请/专利号JP20180541447
申请日2018-01-11
分类号G02B5/20;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/038;H01L51/50;H01L27/32;H05B33/12;G02F1/1335;C08F20/34;G09F9;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 12:18:38