公开/公告号US10354872B2
专利类型
公开/公告日2019-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US201715675385
发明设计人 ANTON J. DEVILLIERS;RODNEY L. ROBISON;RONALD NASMAN;DAVID TRAVIS;JAMES GROOTEGOED;NORMAN A. JACOBSON JR.;DAVID HETZER;LIOR HULI;JOSHUA S. HOOGE;
申请日2017-08-11
分类号B05C11/10;H01L21/027;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/66;B05C5/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:16:25