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Monolayer films of semiconducting metal dichalcogenides, methods of making same, and uses of same

机译:半导体金属二卤化物的单层膜,其制备方法及其用途

摘要

Metal-chalcogenide films disposed on a substrate comprising at least one monolayer (e.g., 1 to 10 monolayers) of a metal-chalcogenide. The films can be continuous (e.g., structurally and/or electrically continuous) over 80% or greater of the substrate that is covered by the film. The films can be made by methods based on low metal precursor concentration relative to the concentration of chalcogenide precursor. The methods can be carried out at low water concentration. The films can be used in devices (e.g., electrical devices and electronic devices).
机译:设置在包括至少一个金属硫属化物的单层(例如1至10个单层)的衬底上的金属硫属化物膜。膜可以在被膜覆盖的基底的80%或更大上是连续的(例如,结构上和/或电上连续的)。可以通过基于相对于硫属化物前体的浓度低的金属前体浓度的方法来制备膜。该方法可以在低水浓度下进行。所述膜可用于设备(​​例如,电气设备和电子设备)中。

著录项

  • 公开/公告号US10325987B2

    专利类型

  • 公开/公告日2019-06-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CORNELL UNIVERSITY;

    申请/专利号US201615130407

  • 发明设计人 JIWOONG PARK;KIBUM KANG;SAIEN XIE;

    申请日2016-04-15

  • 分类号H01L29/24;H01L21/02;H01L29/66;H01L29/786;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:16:17

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