公开/公告号US10361288B2
专利类型
公开/公告日2019-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION;SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING) CORPORATION;
申请/专利号US201815909285
发明设计人 FEI ZHOU;
申请日2018-03-01
分类号H01L29/66;H01L29/78;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/8234;H01L21/02;H01L21/04;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:15:43