公开/公告号US10365216B2
专利类型
公开/公告日2019-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201715793458
发明设计人 LIN ZHANG;XUESONG LU;ANDREW V. LE;FA JI;JANG SEOK OH;PATRICK L. SMITH;SHAWYON JAFARI;RALPH PETER ANTONIO;
申请日2017-10-25
分类号G01N21/53;G01N1/22;H01L21/67;H01L21/677;G01N15/02;G01N15;G01N15/06;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:15:10