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ICCCS international symposium on contamination control
ICCCS international symposium on contamination control
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1.
CLEANROOM GARMENTS AS THE COMPLEX MULTILAYER STRUCTURE
机译:
洁净室服装作为复杂的多层结构
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom garment;
multilayer structure;
filtration efficiency;
physiological properties;
2.
'CLEANROOM GLOBALIZATION IS HERE, HELLO ISO, ARE YOU READY?'
机译:
'洁净室全球化在这里,你好ISO,你准备好了吗?
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom globalization;
ISO/TC209;
ISO standards;
ISO cleanliness classes;
3.
CHARACTERISTIC OF BORON-FREE-FILTER
机译:
无硼过滤器的特征
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
filter;
media;
boron-free-filter;
boron;
semiconductor industry;
gaseous;
contaminant;
chemical contamination;
4.
Study on Local Clean System in Clean Room: The Clean Area by Controlling FFU Air Flow with Flapping Wall
机译:
洁净室局部清洁系统研究:用拍打墙控制FFU空气流量的清洁区
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
clean room;
air flow distribution;
airborne particulate concentration;
flapping wall;
5.
A DISCUSSION OF VIBRATION AND NOISE ISSUES IN A CLEANROOM DESIGN: PAST, PRESENT, AND FUTURE
机译:
讨论洁净室设计中的振动和噪声问题:过去,现在和未来
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
vibration;
noise;
fabs;
microelectronics;
300mm wafer;
6.
MODELING COPPER DEPOSITION FROM AQUEOUS HYDROFLUORIC ACID
机译:
从氢氟酸水溶液沉积铜沉积
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
7.
CHEMICAL FILTRATION - DESIGNING FOR OVERALL EQUIPMENT EFFICIENCY
机译:
化学过滤 - 整体设备效率设计
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
8.
A NEW IC WAFERS WASHING METHOD: QC(QUICK CHANGE) WASHING
机译:
一种新的IC晶片洗涤方法:QC(快速变化)洗涤
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
DI water;
semiconductor industry;
wafer washing;
QC washing;
9.
MONITORING VIABLE FUNGAL AND BACTERIAL BIOAEROSOL CONCENTRATIONS TO IDENTIFY ACCEPTABLE LEVELS FOR COMMON INDOOR ENVIRONMENTS
机译:
监测活性真菌和细菌生物溶胶浓度,以确定共同的室内环境可接受的水平
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
indoor;
mold;
mildew;
bioaerosol;
contamination;
typical;
acceptable;
concentrations;
10.
INTERNATIONAL CLEANROOM STANDARDS AND THEIR IMPACT ON THE PHARMACEUTICAL INDUSTRY
机译:
国际洁净室标准及其对制药行业的影响
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
quality systems;
GMP guidelines;
air cleanliness classification;
aseptic manufacturing;
sterile processing;
international cleanroom standards;
11.
Contamination Control in Relation with Medical Device CE Qualification
机译:
与医疗器械CE资格相关的污染控制
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
12.
PERFORMANCE CHARACTERISTICS OF IN-SITU PARTICLE MONITORS AT SUB-ATMOSPHERIC PRESSURES
机译:
亚大气压原位粒子监测器的性能特征
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
in-situ particle monitor;
detection efficiency;
lower detection limit;
particle size response;
particle concentration effect;
particles;
subatmospheric pressure;
13.
IEST: Presentation: Latest in Isolation, Containment and Barrier Technology
机译:
IEST:演示:最新的孤立,遏制和障碍技术
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
14.
In Situ Gas Analysis with Contamination Modeling for Diffusion Furnaces
机译:
用污染熔炉污染建模的原位气体分析
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
horizontal furnace;
diffusion furnace;
in situ monitoring;
contamination;
gas purging;
gas analysis;
predictive modeling;
CFD modeling;
15.
PARTICLE MEASUREMENTS AND TRANSPORT IN SILANE LPCVD
机译:
硅烷LPCVD中的粒子测量和运输
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
ultrafine particles;
nucleation;
contamination control;
particle beam mass spectrometer;
silicon;
polysilicon;
CVD;
16.
AIR FLOW MODELING AND TESTING OF 300 mm MINIENVIRONMENT/LOAD PORT SYSTEMS
机译:
空气流量建模和300毫米小型/负载端口系统的测试
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
contamination control;
minienvironments;
SMIF;
FOUP;
front opening;
300mm;
CFD;
wafer environment control;
17.
TESTS OF FULL- AND SMALL-SCALE GASEOUS CONTAMINANT ADSORBERS WITH SINGLE AND MIXED VOCS
机译:
用单一和混合VOC的全部和小型气态污染物吸附器的测试
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
gaseous contaminants;
adsorbers;
adsorbent media;
volatile organic compounds;
VOCs;
air cleaners;
filtration;
18.
EFFECT OF UV/PHOTOELECTRON AND PHOTOCATALYST CLEANING ON THE RELIABILITY OF THIN GATE OXIDES
机译:
UV /光电子和光催化剂清洁对薄栅极氧化物可靠性的影响
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
UV/photoelectron;
photocatalyst;
organic contamination;
gate oxide;
reliability;
dielectric breakdown;
19.
REMOVING THE TYPICAL TRACE GASEOUS CONTAMINANTS IN CLEANROOM USING SECONDARY PARTICLE FORMATION WITH SHORT-WAVELENGTH UV LIGHT AND UV/PHOTOELECTRON CHARGING METHOD
机译:
使用具有短波紫外光和UV /光电子充电方法的二次粒子形成在洁净室中除去典型的痕量气态污染物
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
ultra violet;
gaseous species;
photochemical reaction;
particle formation;
adsorption;
photoelectron;
charging;
removal efficiency;
simultaneous removal;
20.
NEW BACTERICIDAL ELECTRICALLY ENHANCED FILTRATION SYSTEM FOR CLEANROOMS
机译:
用于洁净室的新型杀菌电增强过滤系统
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
electrical enhanced filter bactericidal cleanroom staphylococcus cleanroom;
21.
Miniature Quadrupole Arrays For Residual and Process Gas Analysis
机译:
用于残留和过程气体分析的微型四极杆阵列
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
process gas analysis (PGA);
RGA;
ray tracing;
quadrupole array;
space charge effects;
22.
ACID GAS TESTS OF GASEOUS CONTAMINANT ADSORBERS
机译:
气态污染物吸附剂的酸性气体试验
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
adsorption;
adsorbers;
filtration;
gaseous contaminants;
acid gases;
SO_2;
NO_2;
ozone;
23.
IN SITU GAS ANALYSIS ON AN RTP TOOL WITH APIMS
机译:
用APIMS对RTP工具的原位气体分析
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
RTP;
APIMS;
TDS;
thermodesorption;
wafer;
carryover;
dielectric films;
FSG;
H_2O;
absorption;
adsorption;
24.
AN EVALUATION OF THE EFFECTIVENESS OF AIR SHOWERS ON REMOVING PARTICLES FROM CLEANROOM GARMENTS
机译:
评估空气淋浴对洁净室衣服颗粒的有效性
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
25.
EVALUATION OF ORGANIC CONTAMINATION IN CLEANROOM AND DEPOSITION ONTO WAFER SURFACE
机译:
在洁净室中有机污染和沉积在晶片表面上的评价
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
organic contamination;
cleanroom air;
wafer surface;
siloxsans;
phthalates;
phosphates;
trace analysis;
gas chromatograph mass spectrometry;
sticking probability;
26.
VAPOR PHASE CLEANING WITH β-DIKETONES
机译:
用β-diketone进行气相清洁
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
vapor phase cleaning;
wafer cleaning;
etching;
copper CVD chamber cleaning;
transition metals;
27.
MODULAR FACILITIES DELIVERY
机译:
模块化设施交付
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
28.
SYSTEM FOR REMOTE DETECTION OF SUBMICROMETER PARTICLES IN SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT
机译:
用于远程检测半导体加工设备中子微粒粒子的系统
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
contamination control;
optical particle counter;
particle detection;
cleanroom;
plasma;
lidar;
interferometer;
29.
COMPARATIVE OUTGASSING STUDIES ON EXISTING 300MM WAFER SHIPPING BOXES AND PODS
机译:
现有300mm晶圆运送箱和豆荚的比较外差
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
airborne molecular contamination (AMC);
contamination-free manufacturing (CFM);
outgassing;
thermal desorption-gas chroma-tography/mass spectrometry /nitrogen phosphorus detector (TD-GC/MS/NPD);
wafer shipping box;
front-opening unified pod (FOUP);
front-opening shipping box (FOSB);
polymer additives;
30.
PRACTICAL ASPECTS OF CLEANROOM SOUND LEVEL CONTROL
机译:
洁净室声级控制的实际方面
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
31.
NEW METHODS OF MICROBIAL AND SURFACE CONTAMINATION REMOVAL
机译:
微生物和表面污染的新方法去除
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
bioaerosols;
biocontaminants;
cleanrooms;
RP-18.2;
cleaning;
bacteria;
contamination;
32.
An Application and Experiment of Decontamination by Water and Far-infrared Wave
机译:
水和远红外波去污的应用与实验
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
33.
Modeling of Airborne Molecular Contamination
机译:
空气传播分子污染的建模
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
34.
MANAGEMENT DESIGN OF PROCESS EXHAUST SYSTEMS IN AN I/C MANUFACTURING ENVIRONMENT FOR EMISSION MINIMIZATION
机译:
用于发射最小化I / C制造环境中工艺排气系统的管理与设计
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
process exhaust minimization;
cost optimization;
point-of-use treatment devices;
35.
PRACTICAL DESIGNS FOR DEIONIZED WATER RECYCLE SYSTEMS IN THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY
机译:
半导体工业中去离子水循环系统的实用设计
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
conservation;
contamination;
deionized water;
designs;
engineering;
recycling;
reuse;
semiconductor;
water;
36.
DEGRADATION OF TRACE GASEOUS COMPOUNDS USING FIXED PHOTOCATALYST AND UV LIGHT-AIR CLEANING TECHNOLOGY COMBINED WITH ABSORPTION OF GASEOUS POLLUTANTS INTO WATER
机译:
使用固定光催化剂和UV光空气清洁技术结合气态污染物进入水中的痕量气态化合物的降解
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
gaseous pollutant;
fixed photocatalyst;
tio_2;
gas-absorption;
uv light;
sunlight;
sterilization lamp;
self-cleaning;
37.
Method Detection Limits for Trace Metals Analysis by ICP-MS
机译:
方法检测ICP-MS对痕量金属分析的限制
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
calibration;
ICP-MS;
limit of detection;
method detection limit;
ordinary least squares;
SEMI standards;
statistics;
weighted least squares;
38.
MOISTURE DRY-DOWN IN HIGH PURITY HYDROGEN CHLORIDE
机译:
在高纯度氯化氢中的水分干燥
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
APIMS;
dry-down;
FTIR;
hydrogen chloride (HCl);
modeling;
moisture (H_2O);
stainless steel Electropolished (SSEP) surface;
XPS;
39.
AN AUTOMATED AEROSOL PARTICLE COUNTING SYSTEM: METHODOLOGY OF DATA PRESENTATION AND TROUBLESHOOTING
机译:
自动化气溶胶粒子计数系统:数据呈现和故障排除方法
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
aerosol counters;
automated data collection;
contamination control;
data management;
particle counters;
particle management;
40.
Development of Charging Device for Fine and Ultra-fine Particles Using UV/Photoelectron Method Under Alternating Field
机译:
在交流场下使用UV /光电子法使用UV /光电子法的充电装置的开发
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
UV/photoelectron method;
electrical loss;
alternating field;
charging ratio;
penetration ratio;
charging apparatus;
41.
HIGH-PURITY HYDROGEN AND OXYGEN GENERATOR BY WATER ELECTROLYSIS USING SOLID POLYMER ELECTROLYTE
机译:
采用固体聚合物电解质水电解电解的高纯度氢和氧气发生器
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
hydrogen;
water electrolysis;
electrolyzer;
proton exchange membrane;
solid polymer electrolyte;
high purity;
high pressure;
on-site;
deionized water;
42.
Detection of Biological Contamination
机译:
检测生物污染
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
abiotic;
airborne microorganisms;
biocontamination;
biotic;
contamination;
detection;
online detection;
microorganisms;
43.
PARTICLE MEASUREMENT PROCEDURES FOR CLEANROOM MONITORING AND ASSURING COMPLIANCE WITH ISO 14644-1 OR WITH FEDERAL STANDARD 209E
机译:
洁净室监测和确保符合ISO 14644-1或联邦标准的粒子测量程序
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
particle counters;
contamination measurement;
cleanroom monitoring;
ISO 14644-1;
federal standard 209E;
ISO 14644-2;
compliance;
44.
Monitoring a Vacuum Tool Using In-situ Particle Monitoring (ISPM)
机译:
使用原位颗粒监测(ISPM)监测真空工具
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
vacuum in situ particle monitoring;
LPCVD furnace;
particle;
ISPM;
polysilicon;
TEOS;
yield;
45.
STUDIES ON THE ANTIBACTERIAL AIR FILTER
机译:
研究抗菌空气过滤器
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
medical facilities;
nosocomial infection;
airfiltration;
sterilization;
disinfection;
contaminatoin;
46.
The Effect of Sedimentary Particles on Floors in Non-Unidirectional Airflow Cleanrooms
机译:
沉积粒子在非单向气流洁净室楼层上的效果
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
47.
Development and Testing of air purifier using UV irradiation
机译:
使用紫外线辐射的空气净化器的开发和测试
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom;
air purifier;
ultraviolet light;
design of experiment;
48.
Chemistry of the Silicon Oxide Surface: Metal Adsorption from SCI Solutions
机译:
氧化硅表面的化学:SCI溶液的金属吸附
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
49.
INVISCID JET TECHNOLOGY FOR MONITORING PARTICLES IN FLUIDS
机译:
用于监测液体中的颗粒的INCISCID喷射技术
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
particle counter;
inviscid flow;
on-axis detection;
volumetric;
spectrometer;
50.
NEW TUBING MATERIAL FOR SPECIALTY GASES: FERRITIC STAINLESS STEEL TUBE WITH INERT Cr_2O_3 SURFACE
机译:
特种气体的新型管材:铁素体不锈钢管,惰性CR_2O_3表面
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
purified gas distribution;
LSI manufacturing process;
316L stainless steel;
Cr oxide film;
corrosion;
ferritic stainless steel;
51.
ENTRAINMENT AND TRANSPORT OF BIO AEROSOLS FROM VENTILATION DUCTS
机译:
从通风管道夹带和运输生物气溶胶
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
bioaerosols;
biocontaminants;
entrainment;
transport;
ventilation;
aerosol;
penicillium;
52.
EVALUATION OF A DRY LASER CLEANING PROCESS
机译:
干激光清洗过程评价
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
dry cleaning;
laser cleaning;
radiance process?;
excimer laser;
particle removal;
SiO_2;
Si_3N_4;
removal efficiency;
relative humidity effect;
53.
REMOVAL OF ORGANIC GAS SPECIES BY UV-IRRADIATED TITANIA HONEYCOMBS
机译:
通过紫外线辐照的二氧化钛蜂窝去除有机气体物种
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
photocatalysis;
titania-coated honeycomb;
VOC;
organic contamination;
cation;
54.
RESEARCH FOR A SIMPLE DEVICE OF UNIFORMING AIR FLOW
机译:
一种制服气流简单装置的研究
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
perforated plate;
air flow uniformity;
numerical calculation;
eddy current;
turbulence;
55.
Cleaning with Carbon Dioxide Snow Inspection of a cleaning method
机译:
清洁用二氧化碳雪检查清洁方法
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
MEMS;
submicron particles;
dry cleaning;
disposal free cleaning;
hybrid cleaning;
local cleaning;
56.
RE-DESIGN OF THE AIRFLOW SYSTEM TO CONTROL THE AIRBORNE PARTICULATE FOR AN EXISTING FILLING MACHINE
机译:
重新设计气流系统,以控制现有灌装机的空气颗粒
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
57.
THE EVOLUTION OF ISOLATION TECHNOLOGY IN A DEVELOPING BIOTECHNOLOGY COMPANY
机译:
发展生物技术公司中隔离技术的演变
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
VHP: Vaporized Hydrogen Peroxide;
RTP Port: a interlocking door system;
Transfer Isolator: a glove box on wheels;
Half Suit: a glove box where the upper half of a persons' body can fit;
Platine: a plate that holds ports for piping or electrical connections;
GMP: Good Manufacturing Practices, which are defined by the FDA;
58.
AIR QUALITY: STRATEGIC BUSINESS PLANS (SBP) FOR NATIONAL, REGIONAL AND INTERNATIONAL STANDARDIZATION WORK
机译:
空气质量:国家,区域和国际标准化工作的战略商业计划(SBP)
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
air pollution prevention;
standardization in germany, europe and worldwide;
CEN (comite europeen de normalisation = european committee for standardization);
ISO (international organization for standardization);
Co-operation of regional and international standardization bodies;
59.
THE STANDARD METHOD FOR TESTING AIR FILTER USED IN GENERAL VENTILATION IN CHINA
机译:
中国通用通风中使用的空气过滤器的标准方法
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
air filter;
testing standard;
test method;
efficiency of atmospheric particle counting;
automatic particle counter;
60.
APPLICATION OF PTFE MEMBRANE CONTACTORS TO THE INFUSION OF OZONE INTO ULTRA-HIGH PURITY WATER
机译:
PTFE膜接触器在超高纯水中输注臭氧输注
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cleaning;
mass transfer;
membrane contactor;
ozone;
silicon;
semiconductor;
water;
PTFE;
fluoropolymer;
61.
Analysis of Trace Metals in Chlorine Trifluoride (ClF_3)
机译:
三氟化氯痕量金属分析(CLF_3)
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
ClF_3;
ICPMS;
trace metals;
62.
IMPROVED MEASUREMENT OF SWAB HANDLE ELECTRICAL RESISTANCE TO AID IN CLEANROOM ELECTROSTATIC DISCHARGE CONTROL
机译:
改进棉签手柄电阻以辅助洁净室静电放电控制的测量
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
swab;
electrostatic discharge;
electrical resistance;
cleanroom;
contamination;
63.
A Short Primer on the Use and Abuse of Statistical Methods in The Electronics Industry
机译:
电子行业中使用和滥用统计方法的简短入门
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
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1998年
关键词:
calibration;
limit of detection;
linearity;
method detection limit;
particle data;
precision reporting;
propagation of error;
statistics;
64.
PRECISE VISUAL INSPECTION
机译:
精确的视觉检查
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
particles;
paniculate contamination;
percent area coverage;
modeling;
65.
OPTIMAL STUDY OF LOCAL UNIDIRECTIONAL FLOW CLEANROOM
机译:
局部单向流动洁净室的最佳研究
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
local unidirectional flow;
air supply area ratio;
air flow field;
contaminant distribution;
cleanroom;
air flow field;
clean-down capability time;
66.
PROPOSAL FOR A HIGH-SCAN RATE LEAK TEST METHOD FOR AN INSTALLED FILTER SYSTEM
机译:
安装过滤系统的高扫描速率泄漏测试方法的提案
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
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1998年
关键词:
air filter;
measuring technology;
sampling;
leak scan test;
poisson distribution;
ISO/TC209;
cleanrooms;
67.
HACCP AND LIMITATION OF RISKS IN CLEAN ZONES
机译:
HACCP和清洁区域风险的限制
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
airborne contamination;
clean zones;
cleanroom;
LR-method;
microbiological assessment;
68.
The Particle Removal Efficiency of Pulse Air Jet Utilizing the Propeller Method
机译:
利用螺旋桨法的脉冲空气喷射颗粒去除效率
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
69.
APPLICATION OF AN ISPM ON AN LAM ALLIANCE 9400 ETCHING PROCESS
机译:
ISPM在Lam Alliance 9400蚀刻过程中的应用
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
etching process;
ISPM;
particle monitoring;
and product defects;
70.
PARTICLE SHEDDING CHARACTERISTICS OF MEMBRANE FILTERS UNDER PULSED-FLOW CONDITIONS IN LIQUID FILTRATION
机译:
液体过滤脉冲流动条件下膜过滤器的颗粒脱落特性
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
particle shedding;
filter;
liquid filtration;
particle concentration;
steady flow;
pulsed flow;
ultrapure liquid;
71.
CHARACTERIZATION OF SLURRY PARTICLES USED IN CHEMICAL MECHANICAL POLISHING (CMP) OF WAFERS
机译:
晶片化学机械抛光(CMP)中使用的浆料颗粒的表征
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
chemical mechanical polishing(CMP);
slurry;
size distribution;
liquid filtration;
filter;
aggregate;
electrospray;
72.
STRUCTURAL DYNAMICS AND VIBRATION CRITERIA FOR ADVANCED TECHNOLOGY FACILITIES
机译:
高级技术设施的结构动力学和振动标准
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cost savings;
floor motion criteria;
structural dynamics;
displacement response;
velocity component response;
stiffness;
73.
USER REQUIREMENTS AND DESIGN SPECIFICATIONS OF ISOLATOR CONTAINMENT FOR PHARMACEUTICAL PRODUCTION
机译:
药品生产中隔离装置的用户要求和设计规范
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
pharmaceutical production;
sterile and toxic products;
rigid isolators;
user requirements;
design specifications;
74.
IMPACT OF ORGANIC CONTAMINATION ON GATE OXIDE INTEGRITY
机译:
有机污染对栅极完整性的影响
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
organic contamination;
hexamethyldisilazane (HMDS);
wafer boxes;
vacuum;
clustering;
gate oxide integrity;
capacitors;
75.
DEVELOPMENT OF BACTERICIDAL AIR FILTER WITH IMMOBILIZED ENZYMES
机译:
具有固定化酶的杀菌空气过滤器的发展
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
air purifying filter;
bactericidal filter;
HEPA filter;
lyric action;
enzyme;
microorganism;
bacteria;
bacillus subtilis;
micrococcus luteus;
76.
Evaluation of VOC Emissions From Clean room Materials Using New Chamber Test Method
机译:
利用新腔室试验法评价洁净室材料的VOC排放
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom materials;
VOC;
emission rate;
dynamic head space method;
BHT;
DBP;
77.
DECOMPOSITION OF TRACE-AMOUNT OF VOC USING UV-LIGHT AND PHOTOCATALYST
机译:
使用紫外线和光催化剂分解痕量VOC
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
air purification;
photochemical reaction;
photocatalytic reaction;
titanium dioxide;
vocs;
toluene;
benzene;
78.
ADOPTING NEW STANDARDS FOR CLEANROOM DESIGN
机译:
采用新标准的洁净室设计
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom design;
contamination control;
airflow modeling;
computational fluid dynamics;
CFD;
simulation;
ventilation;
79.
EVALUATION OF ORGANIC CONTAMINANTS ON SI WAFER SURFACES IN CONTROLLED ENVIRONMENT
机译:
受控环境中Si晶片表面有机污染物的评价
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom;
organic gases;
surface contamination;
atmospheric pressure-ionization mass spectroscopy;
80.
PARTICLE DEPOSITION MEASUREMENTS USING SILICON WAFER WITNESS PLATES AND A LASER SCANNER
机译:
使用硅晶片见证板和激光扫描仪进行粒子沉积测量
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
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1998年
关键词:
particle counting;
area coverage;
laser scanner;
space systems;
MIL-STD-1246;
81.
CORRELATION OF ALTERNATIVE AEROSOLS AND TEST METHODS FOR HEPA FILTER LEAK TESTING
机译:
HEPA过滤器泄漏测试的替代气溶胶和试验方法的相关性
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
HEPA filters;
leak testing;
aerosol photometer;
particle counter;
DOP;
DEHS;
PAO;
82.
ADVANCED TECHNOLOGY FACILITY CONSTRUCTION EDUCATION
机译:
先进技术设施建设教育
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
关键词:
advanced technology facility construction;
cleanroom construction education;
cleanroom infrastructure;
construction management;
facility infrastructure support systems;
partnering, industry and education;
semiconductor facility;
83.
Buffered HF at Point of Use
机译:
使用点缓冲HF
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
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1998年
关键词:
buffered HF;
etching;
cleaning;
selectivity;
buffered oxide etch;
BHF;
BOE;
84.
Barrier Isolators and Microenvironments for Cleanroom Applications
机译:
洁净室应用的障碍隔离器和微环境
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
|
1998年
85.
Monitoring of Ionic Contamination on Silicon Wafers using Ion Chromatography
机译:
使用离子色谱法监测硅晶片离子污染
会议名称:
《ICCCS international symposium on contamination control》
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1998年
关键词:
anions;
cations;
ion chromatography;
silicon wafer;
hazes;
cleanroom components;
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